전자빔이란? 전자총에서 나오는 속도가 거의 균일한 전자의 연속적 흐름을 전자빔, 혹은 전자선이라고 한다. 파장이 극히 짧음으로 진공인 경우나 전기장·자기장이 없는 경우에는 직선으로 전파된다고 생각해도 된다. 속도 V의 전자 빔에는 드브로이파(de Broglie)로서의 파장 (h는 플랑크 상수)가 대응한다. 보통 사용되는 가속 전압에 해당하는 전자빔의 파장은 0.005~0.1nm이며, X선 파장 범위(0.001~5nm)와 비슷하다. 고밀도 전자빔이란, 기존 저 전류(수 nA 이하)의 전자빔 기술과는 다른 고전류(수 mA 이상)를 이용하는 것이다. 이러한 고밀도 전자빔은 전자빔의 가속 에너지 크기 및 전류량에 따라 주요 사양과 응용 분야가 결정되며, 기계, 바이오, 반도체, 디스플레이 및 환경 분야 등 응용..

디지털콘텐츠/이슈리포트 2021. 10. 14. 11:27